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02 2660号 無機高誘電率材料と有機材料とからなる複合薄膜 及びその複合薄膜の製造方法 Astamuse

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1 3 誘電率と界面準位発生の相関

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1998 号 半導体装置の製造方法 Astamuse

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01 号 ゲート絶縁膜とその製造方法 Astamuse

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1996 号 複合誘電体及びこれを用いたファントムモデル Astamuse

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06 3042号 低誘電率絶縁膜および半導体装置の製造方法 Astamuse

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1 3 誘電率と界面準位発生の相関

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